超精密机床

摘要

本实用新型提供一种五轴控制的超精密机床，其是主要结构部分相对于加工点完全对称的结构，使热位移引起的误差最小。在底座(1)的上表面，在X轴方向的两侧，相隔X轴滑块(3)固定一对Y轴引导部件(41、41)，引导Y轴滑块(4、4)，使其能朝向与X轴垂直相交的水平的Y轴方向移动。Y轴线性电动机(42、42)、Y轴引导部件(41、41)配置在Y轴滑块(4、4)的质心，因此能够使振动、定位误差最小，从而可朝向Y轴方向驱动Y轴滑块(4)。

主权项

一种超精密机床，其特征在于，包括：底座；X轴滑块(3)，设在所述底座上，能够朝向水平的X轴方向移动；一对X轴引导部件(31)，配置在所述底座上相对于所述X轴滑块的质心对称的位置上，引导所述X轴滑块，使其能朝向X轴方向移动；一对X轴线性电动机(32)，配置在所述底座上相对于所述X轴滑块的质心对称的位置上，朝向X轴方向驱动所述X轴滑块；放置工件的工作台(33)，搭载在所述X轴滑块上；一对Y轴滑块(4)，分别在所述底座上相隔所述X轴滑块配置在X轴方向的两侧，并且设置成能够朝向与所述X轴垂直相交的水平的Y轴方向移动；一对Y轴引导部件(41)，分别在所述底座上相隔所述X轴滑块配置在X轴方向的两侧，引导所述Y轴滑块，使其能朝向Y轴方向移动；一对Y轴线性电动机(42)，在所述底座上相隔所述X轴滑块，在X轴方向的两侧配置在相对于所述Y轴滑块的质心对称的位置上，朝向Y轴方向驱动所述Y轴滑块；一对Z轴滑块(5)，能够朝向同时与所述X轴和Y轴垂直相交的垂直的Z轴方向移动地，分别设在所述一对Y轴滑块上；两对Z轴引导部件(51)，分别在所述一对Y轴滑块上，配置在相对于所述Z轴滑块的质心对称的位置上，引导所述一对Z轴滑块，使其能朝向Z轴方向移动；两对Z轴线性电动机(52)，分别在所述一对Y轴滑块上，配置在相对于所述Z轴滑块的质心对称的位置上，朝向Z轴方向驱动所述一对Z轴滑块；主轴头支承梁(6)，其X轴方向的两端分别轴支承在所述Z轴滑块上，且能以与X轴平行的A轴为中心旋转分度；和主轴头(61)，安装在所述主轴头支承梁的X轴方向的中央位置，具有保持工具的主轴。