一种气体激光器装置

摘要

本发明公开了一种气体激光器装置，包括循环冷却器、阴极和阳极、光谐振腔，射频电源等，所述阴极和阳极置于所述光谐振腔内，所述光谐振腔由前反镜和后反镜组成，所述循环冷却器置于所述阴极和阳极侧边或外部由通气管路联通，所述射频电源接通所述阴极和阳极，处于所述阴极和阳极放电间隙的气体辉光放电，并在所述光谐振腔的前反镜和后反镜之间振荡产生激光，并从所述光谐振腔的前反镜中输出激光，靠近所述阳极或阴极的所述气体，直接在带冷却系统的所述阴极和阳极上冷却形成微循环，同时，所述光谐振腔内产生激光的气体在所述循环冷却器作用下，到达所述循环冷却器内经过冷却，所述气体进一步冷却，使所述气体循环利用。

主权项

一种气体激光器装置，其特征在于，包括：循环冷却器、阴极和阳极、光谐振腔，射频电源；在所述气体激光器装置中设置所述循环冷却器，所述阴极和阳极置入所述光谐振腔内，所述光谐振腔由前反镜和后反镜组成，使所述阴极和阳极放电间隙的两端分别对准所述光谐振腔的前反镜和后反镜，并使所述放电间隙平面与所述前反镜面和后反镜面垂直，在所述气体激光器装置内抽真空后充入产生激光的气体，所述射频电源接入所述阳极和所述阴极，接通所述射频电源，处于所述阴极和阳极放电间隙的气体辉光放电，并在所述光谐振腔的前反镜和后反镜之间振荡产生激光，并从所述光谐振腔的前反镜中输出激光，靠近所述阳极或阴极的所述气体，直接在带冷却系统的所述阴极和阳极上冷却形成微循环，同时，所述光谐振腔内产生激光的气体在所述循环冷却器作用下，到达所述循环冷却器内经过冷却，所述气体进一步冷却，使所述气体循环利用。