紫外光学仪器分辨率测试仪

摘要

本发明涉及一种紫外光学仪器分辨率测试仪，氘灯光源通过机械可变光阑、石英聚光镜按1∶1比例成像于紫外单色仪的入射狭缝组机构上，由紫外单色仪出射狭缝处发射出的紫外光均匀照射在紫外漫透射器上，紫外漫透射器和紫外分辨率板通过卡具压紧在一起，固定在置于出射狭缝之后的二维调节平台上，经过紫外漫透射器的漫透射作用，紫外分辨率板局部被均匀照明，紫外分辨率板经过平面反射镜和非球面准直镜形成无限远紫外分辨目标；待测光学仪器平台置于光学导轨上，光学导轨轴线与平行光路的光轴重合。本发明采用非球面设计反射式平行光管，形成无穷远紫外分辨率目标。不仅减少了设计和加工成本，而且使紫外能量得到了最大程度的利用。

主权项

一种紫外光学仪器分辨率测试仪，包括氘灯光源(1)、机械可变光阑(2)、石英聚光镜(3)、由入射狭缝组机构(4)和准直反射镜(5)、与波长驱动机构(18)相连接的闪耀光栅(6)、成像反射镜(8)、平面反射镜(9)、出射狭缝(10)构成的紫外单色仪、紫外漫透射器(11)、紫外分辨率板(12)、二维调节平台(13)、转折平面反射镜(14)、非球面准直镜(15)、光学导轨(16)、待测光学仪器平台(17)、图像采集系统(19)和计算机(20)，其特征在于，所述的氘灯光源(1)通过机械可变光阑(2)、石英聚光镜(3)按1∶1比例成像于所述的紫外单色仪的入射狭缝组机构(4)上，由紫外单色仪出射狭缝(10)处发射出的紫外光均匀照射在紫外漫透射器(11)上，紫外漫透射器(11)和紫外分辨率板(12)通过卡具压紧在一起，固定在二维调节平台(13)之上，并将二维调节平台(13)置于出射狭缝(10)之后，经过紫外漫透射器(11)的漫透过作用，紫外分辨率板(12)局部被均匀照明，紫外分辨率板(12)经过转折平面反射镜(14)和非球面准直镜(15)形成无限远紫外分辨目标；待测光学仪器平台(17)置于光学导轨(16)上，光学导轨(16)轴线与平行光路的光轴重合；所述的波长驱动机构(18)和图像采集系统(19)分别与计算机(20)控制连接。