| 发明名称 | 基于微机电技术制作声表面波相关器的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基于微机电技术制作声表面波相关器的方法，该方法包括：在压电晶体衬底上制作两组叉指换能器，该两组叉指换能器互不平行且成一定角度；在所述两组叉指换能器之间制作空气桥；在空气桥上蒸镀金属薄膜，引出金属电极。利用本发明制作的声表面波相关器，具有体积小，制作工艺简单，反应迅速，且易与集成电路工艺集成的特点，而且叉指换能器的特殊设计大大减小了噪声干扰。 | ||
| 申请公布号 | CN101729035A | 申请公布日期 | 2010.06.09 |
| 申请号 | CN200810224904.7 | 申请日期 | 2008.10.24 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 李昊峰;贾锐;李维龙;陈晨;朱晨昕 |
| 分类号 | H03H3/02(2006.01)I | 主分类号 | H03H3/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 周国城 |
| 主权项 | 一种基于微机电技术制作声表面波相关器的方法，其特征在于，该方法包括：在压电晶体衬底上制作两组叉指换能器，该两组叉指换能器互不平行且成一定角度；在所述两组叉指换能器之间制作空气桥；在空气桥上蒸镀金属薄膜，引出金属电极。 | ||
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||