图像传感器的制造方法

摘要

在图像传感器的制造方法中，在第一衬底中形成读出电路。在第一衬底上方形成第一层间电介质。在第一层间电介质处形成互连件，并且该互连件电连接到读出电路。在互连件上方形成第二层间电介质。利用光致抗蚀剂图案作为蚀刻掩模，通过蚀刻第二层间电介质的一部分，形成暴露互连件上侧的导通孔。在导通孔中形成接触插塞，而留下该光致抗蚀剂图案。然后去除该光致抗蚀剂图案。在接触插塞上方形成图像感测器件。

主权项

一种方法，包括如下步骤：在第一衬底上形成读出电路；在所述第一衬底上方形成第一层间电介质；在所述第一层间电介质处形成互连件，所述互连件电连接到所述读出电路；在所述互连件上方形成第二层间电介质；利用光致抗蚀剂图案作为蚀刻掩模，通过蚀刻所述第二层间电介质的一部分，形成暴露所述互连件上侧的导通孔；在所述导通孔中形成接触插塞；去除所述光致抗蚀剂图案；以及在所述接触插塞上方形成图像感测器件。