发明名称 分离装置及分离方法
摘要 本发明是有关于一种分离装置及分离方法。该分离装置,是用以分离一相粘合的电子本体及基板,此分离装置包括一平台、一传动部、一溶解部、一清洗部及一第一分隔板。传动部配置于平台上,以移动电子本体及基板。溶解部配置于平台上,是用以喷洒一溶剂于电子本体及基板。清洗部配置于平台上,是用以清洗电子本体。第一分隔板是位于溶解部及清洗部之间,此第一分隔板具有至少一第一通孔,是仅使电子本体穿越,藉由电子本体穿越第一通孔,而基板无法通过第一通孔,而使电子本体及基板分离。
申请公布号 CN101728226A 申请公布日期 2010.06.09
申请号 CN200810171768.X 申请日期 2008.10.23
申请人 亚泰半导体设备股份有限公司 发明人 黎源欣;杨秋峰
分类号 H01L21/00(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人 寿宁;张华辉
主权项 一种分离装置,是用以分离一相粘合的电子本体及基板,其特征在于该分离装置包括:一平台;一传动部,配置于该平台上,以移动该电子本体及该基板;一溶解部,配置于该平台上,是用以喷洒一溶剂于该电子本体及该基板;一清洗部,配置于该平台上,是用以清洗该电子本体;以及一第一分隔板,是位于该溶解部及该清洗部之间,该第一分隔板具有至少一第一通孔,该第一通孔的高度是仅使该电子本体穿越,而该基板无法通过该第一通孔,致使该电子本体及该基板分离。
地址 中国台湾新竹县