单片式可见光/红外光双光谱焦平面探测器

摘要

本发明公开了一种单片式可见光/红外光双光谱焦平面探测器，它包括：可见光像元、可见光像元收集二极管、红外感光像元、红外感光像元收集二极管、四相CCD转移栅上的电极V1、V2、V3、V4，各个电极按上述顺序从上至下排列并构成CCD信道；可见光像元(1)和红外感光像元(3)并列在四相CCD转移栅的一侧，且可见光像元和红外感光像元的位置可互换；可见光像元和红外感光像元分别通过可见光像元收集二极管和红外感光像元收集二极管把可见光信号和红外信号输入四相CCD转移栅上的相应电极；各个器件间用沟阻隔离，防止信号间的相互干扰；本发明结构可在单芯片上实现双光谱的探测；本发明的有益技术效果是：可大大减小探测系统的体积、重量及成本，与现有的硅工艺兼容，易于制作大规模焦平面阵列，在同一光路中实现实时图象融合与分离，提高探测器在双波段的探测能力。

主权项

一种单片式可见光/红外光双光谱焦平面探测器，其特征在于：它包括：可见光像元(1)、可见光像元收集二极管(2)、红外感光像元(3)、红外感光像元收集二极管(4)、四相CCD转移栅(5)上的四个电极(V1、V2、V3、V4)，该四个电极按第一电极(V1)、第二电极(V2)、第三电极(V3)、第四电极(V4)的顺序从上至下排列并构成CCD信道；可见光像元(1)和红外感光像元(3)并列在四相CCD转移栅(5)的一侧，且可见光像元(1)和红外感光像元(3)的位置可互换；可见光像元(1)和红外感光像元(3)分别通过可见光像元收集二极管(2)和红外感光像元收集二极管(4)把可见光信号和红外信号输入四相CCD转移栅(5)上的相应电极；各个器件间用沟阻(6)隔离，防止信号间的相互干扰。