| 发明名称 | 激光设备和用其制造薄膜晶体管的方法 | ||
| 摘要 | 一种激光设备包括激光生成单元和强度图案调节单元，该强度图案调节单元包括一对遮光部分和一对半通过部分，其中所述一对半通过部分设置于所述一对遮光部分之间并调节入射激光束的强度。 | ||
| 申请公布号 | CN1828832B | 申请公布日期 | 2010.06.09 |
| 申请号 | CN200610002860.4 | 申请日期 | 2006.02.07 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 朴喆镐 |
| 分类号 | H01L21/20(2006.01)I;H01L21/268(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;B23K26/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陶凤波;侯宇 |
| 主权项 | 一种激光设备，包括：激光生成单元，所述激光生成单元产生激光束；以及强度图案调节单元，包括一对遮光部分和一对半通过部分，所述一对半通过部分彼此分隔开从而形成所述激光束通过的空间，其中所述一对半通过部分设置在所述一对遮光部分之间并调节入射激光束的强度，其中仅在每个半通过部分中提供底基板和形成于所述底基板上的涂层。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||