发明名称 |
薄膜晶体管阵列基板及其制造方法 |
摘要 |
一种薄膜晶体管阵列基板的制造方法,其是在每一次的图案化制程中,同时定义膜层以形成多个切裂标记。这些切裂标记为沿垂直预切裂方向紧密地排列成行,且这些切裂标记形成于一预切裂位置的两侧。藉由以这些切裂标记作为刻度记号,可显示出实际切裂位置与预切裂位置的偏移程度,进而可进一步对切裂制程做精确地调整,以提高制程良率。 |
申请公布号 |
CN101728396A |
申请公布日期 |
2010.06.09 |
申请号 |
CN200810167540.3 |
申请日期 |
2008.10.10 |
申请人 |
华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司 |
发明人 |
施媚莎 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L23/544(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
孙长龙 |
主权项 |
一种薄膜晶体管阵列基板,其特征在于,包括:一基板,该基板具有一组件区与一切裂标记区;多数个像素结构,配置于该组件区中,每一像素结构包括一薄膜晶体管、一像素电极以及覆盖该薄膜晶体管的一保护层;以及多数个切裂标记,配置于该切裂标记区中,该些切裂标记为沿垂直预切裂方向紧密地排列成行,且该些切裂标记位于一预切裂位置的两侧,其中该些切裂标记是由至少两种以上的颜色、至少两种以上的形状、至少一种颜色与至少一种形状搭配组合或是上述两者搭配组合而成。 |
地址 |
215217 江苏省苏州市吴江经济开发区同里分区江兴东路88号 |