OH、OD含量低的玻璃

摘要

OH和OD中至少一种的合并浓度最高达到约50ppm的熔凝氧化硅玻璃和熔凝氧化硅制品。所述熔凝氧化硅玻璃这样制备：在包含干燥剂的惰性气氛中干燥熔凝氧化硅烟炱坯体，然后在包含惰性气体和氧气的气氛中加热干烟炱坯体，从干烟炱坯体中除去残余干燥剂。

主权项

一种熔凝氧化硅制品，所述熔凝氧化硅制品包含OH和OD中的至少一种，其中OH和OD的合并浓度最高达到约50ppm，其中OD浓度与OD浓度和OH浓度之和的比值大于氘的天然同位素丰度，并且在以下情形，熔凝氧化硅制品在633nm波长处的折射指数变化小于约5ppm：i)在OH和OD浓度的合并变化小于约25ppm的方向上；以及ii)在沿着样品垂直于入射光的维度跨越至少约50mm的距离上。