Out-of-plane micro-device structures,申请号EP20020250727-传众专利搜索

发明名称	Out-of-plane micro-device structures
摘要
申请公布号	EP1231617(B1)	申请公布日期	2010.06.09
申请号	EP20020250727	申请日期	2002.02.01
申请人	XEROX CORPORATION	发明人	FORK, DAVID K.;CHUA, CHRISTOPHER L.;VAN SCHUYLENBERGH, KOENRAAD F.;JOHNSON, NOBLE M.;BIEGELSEN, DAVID K.
分类号	G03F7/20;H01F41/04;B81B1/00;B81B3/00;B81C1/00;H01F17/00;H01L21/02;H01L21/48;H01L27/08;H05K3/40	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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