光学镜头

摘要

一种用于激光加工使用的光学fθ镜头，包括透镜组和光阑，所述光阑位于透镜组的前方，透镜组包括三个透镜，分别为第一、第二、第三透镜，依次排列为“负-正-正”分离的光焦度系统，其中，所述第一透镜为弯月型负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为弯月型正透镜，第一透镜、第二透镜及第三透镜所有的曲面均向着光阑方向弯曲，且整个光学系统的焦距为f，第一、第二、第三透镜的焦距分别为f1、f2、f3，各透镜的焦距与整个光学系统的焦距f比率满足以下要求关系：-0.7＜f1/f＜-0.4；0.9＜f2/f＜1.1；0.7＜f3/f＜0.9。本发明所提供的光学fθ镜头，使得系统的的球差、彗差与场曲都达到较好的平衡，使得成像结果良好且在整个像面上成像均匀，且该结构应用于大口径入射的fθ镜头的小型化取得较好的效果，且在系统的入射光束口径较大。

主权项

一种用于激光加工使用的光学fθ镜头，包括透镜组和光阑，其特征在于：所述光阑位于透镜组的前方，透镜组包括三个透镜，分别为第一、第二、第三透镜，依次排列为“负-正-正”分离的光焦度系统，其中，所述第一透镜为弯月型负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为弯月型正透镜，第一透镜、第二透镜及第三透镜所有的凹面均向着光阑方向，且整个光学系统的焦距为f，第一、第二、第三透镜的焦距分别为f1、f2、f3，各透镜的焦距与整个光学系统的焦距f比率满足以下要求关系：-0.7＜f1/f＜-0.40.9＜f2/f＜1.10.7＜f3/f＜0.9。