一种金属微网格透明电极及其制备方法

摘要

本发明涉及一种金属微网格透明电极及其制备方法，该透明电极为有序的金属微网格状结构，该透明电极的金属微网格厚度为10-50nm；网格宽度为140-800nm；其孔径为1-6μm。其制备方法为：用单分散聚苯乙烯微球组装单层胶体晶体模板，然后利用磁控溅射技术，向模板缝间沉积金属，溅射时间5-10分钟；最后，经有机溶剂超声清洗20-30分钟去除聚苯乙烯微球模板，得到所述透明电极。本发明的透明电极的金属微网格状结构可以兼顾高透光率、低电阻和低成本等基本要素，在光电器件、光探测器以及半导体发光等方面有广泛的用途；本发明的制备方法工艺简单、易于操作。

主权项

一种金属微网格透明电极，其特征在于：该透明电极为有序的金属微网格状结构；其中，该透明电极的金属微网格厚度为10-45nm；该透明电极的金属微网格其网格宽度为140-740nm；该透明电极的金属微网格其孔径为1.2-5.6μm。