发明名称 |
半导体装置及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种半导体装置及其制造方法,根据该半导体装置及其制造方法,可以增加半导体装置的产量,并且谋求制造工序的简化。在半导体基板(10)表面的规定区域内形成多个焊盘电极(12)之后,经由粘接剂层(14)使支承体(15)与半导体基板(10)的表面粘贴。接着,在半导体基板(10)的与上述规定区域重叠的区域形成开口部(10A)。另外,在开口部(10A)内形成与各焊盘电极(12)电连接的配线层(18)。之后,经过规定的工序,最后沿着向开口部(10A)外侧延伸的切割线(DL)对包含半导体基板(10)及支承体(15)的层叠体进行切割。 |
申请公布号 |
CN101728348A |
申请公布日期 |
2010.06.09 |
申请号 |
CN200910179287.8 |
申请日期 |
2009.10.13 |
申请人 |
三洋电机株式会社;三洋半导体株式会社;三洋半导体制造株式会社 |
发明人 |
富田弘明;须藤和之 |
分类号 |
H01L23/485(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/485(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
一种半导体装置,其特征在于,具有:半导体基板;经由粘接剂层与所述半导体基板的表面粘贴的支承体;形成于所述半导体基板的开口部;在所述开口部内,配置于所述支承体上的多个焊盘电极;在所述开口部内,与各焊盘电极电连接的配线层。 |
地址 |
日本大阪府 |