发明名称 RF PULSING OF A NARROW GAP CAPACITIVELY COUPLED REACTOR
摘要
申请公布号 EP1620876(B1) 申请公布日期 2010.06.09
申请号 EP20040751199 申请日期 2004.04.29
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 LOEWENHARDT, PETER;SRINIVASAN, MUKUND;FISCHER, ANDREAS
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
地址