一种多功能抛动旋转机构

摘要

本发明公开了一种多功能抛动旋转机构，晶片花篮安装在可旋转的机械转臂上，在电机及同步带的作用下机械转臂旋转将晶片花篮送入腐蚀槽进行腐蚀，腐蚀后电机反向转动使机械臂带动晶片花篮从腐蚀槽送入清洗槽进行清洗，在腐蚀和清洗的过程中，通过机械臂上的另一个伺服电机旋转带动晶片花篮旋转，从而使晶片在腐蚀和清洗过程中可进行任意角度的旋转，保障了晶片和药液的均匀接触，同时使释出物能快速离开原来的位置，使腐蚀速度加快。本发明具有高速槽间传送、运转平稳、无颗粒污染、安全，防腐蚀的优点。

主权项

一种多功能抛动旋转机构，包括腐蚀槽和清洗槽，其特征在于：包括抛动机构、旋转机构、花篮架机构，所述旋转机构位于花兰架机构和抛动机构之间。