发明名称 |
胶质码盘/码尺的制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种胶质码盘/码尺的制作方法,其使用透光性90%以上,耐高温至120℃的胶质板片为基材;唯其厚度小于0.5mm,且以聚酯(PET)或聚碳酸酯(PC)的材料制成为佳;首先在其表面上蒸镀上一层厚约1μm以下的铬铝质薄膜;再于铬铝质薄膜上涂布光阻剂,而形成一层厚约1~3μm的光阻膜;然后把经光绘机绘好码盘/码尺的光栅图案的菲林母版覆盖于光阻膜上,再进行以平行光的曝光照射使之感光;之后洗去未感光的光阻膜;然后以刻蚀液对胶质板片进行约数十秒时间的浸滞刻蚀,刻蚀完毕再洗去感光部份的光阻膜,至此码盘/码尺的光栅图案刻制完成;然后置于光学冲压机中,作自动对准位置冲下,而成圆盘状的码盘或长条状的码尺,以供编码器或光学尺使用。 |
申请公布号 |
CN101382442B |
申请公布日期 |
2010.06.09 |
申请号 |
CN200710149102.X |
申请日期 |
2007.09.03 |
申请人 |
赖云龙 |
发明人 |
赖云龙 |
分类号 |
G01D5/347(2006.01)I;G01B3/04(2006.01)I |
主分类号 |
G01D5/347(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
何春兰 |
主权项 |
一种胶质码盘/码尺的制作方法,其使用透光性90%以上的胶质板片为基材,首先是在胶质板片的表面上蒸镀上一层铬铝质薄膜;再在铬铝质薄膜上涂覆上光阻剂,而形成一层光阻膜;然后将经光绘机绘好的码盘/码尺的光栅图案的菲林母版,覆盖在胶质板片的光阻膜上;再进行以平行光的曝光照射光阻膜使之感光,照射完成后,取下菲林母版;然后,以洗除液洗去胶质板片上未感光部份的光阻膜;然后,再以刻蚀液对胶质板片及其上的铬铝质薄膜进行浸滞刻蚀;刻蚀完成后,再以洗除液洗去感光部份的光阻膜;至此,即令胶质板片上形成具有一个以上的码盘/码尺的光栅图案的刻制完成;然后,将胶质板片置于光学冲压机中,作自动对准位置而冲制出成圆盘状的码盘或长条状的码尺,以适用于编码器或光学尺。 |
地址 |
中国台湾台北市 |