| 发明名称 | 一种无水氟化氢气体中粉尘颗粒的脱除方法 | ||
| 摘要 | 一种无水氟化氢气体中粉尘颗粒的脱除方法属于化工技术领域。首先无机氟化物与酸反应得到无水氟化氢气体，随即通过有机-无机杂化膜；该有机-无机杂化膜，孔径小于1μm和耐温性在20℃-120℃，同时具有耐氢氟酸腐蚀，负压：1000-3000Pa条件，比表面积大于180m2/g；脱除无水氟化氢气体中亚微米或纳米级以下的粉尘颗粒，使得无水氟化氢气体中在常温常压下粉尘颗粒含量小于5g/m3。使得无水氟化氢气体中在常温常压下粉尘颗粒含量小于5g/m3，所脱除的亚微米或纳米级以下的粉尘颗粒尺寸在200nm-500nm之间，其成份主要由氟，硅，磷，铁，硫，氧等组成。本发明工艺过程简单，操作容易控制，能耗低，且易于满足工业生产。 | ||
| 申请公布号 | CN101723329A | 申请公布日期 | 2010.06.09 |
| 申请号 | CN200910242208.3 | 申请日期 | 2009.12.04 |
| 申请人 | 北京工业大学 | 发明人 | 孙继红;何玮;王丽娟 |
| 分类号 | C01B7/19(2006.01)I | 主分类号 | C01B7/19(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人 | 刘萍 |
| 主权项 | 一种无水氟化氢气体中粉尘颗粒的脱除方法，其特征在于：首先无机氟化物与酸反应得到无水氟化氢气体，随即通过有机-无机杂化膜；该有机-无机杂化膜，孔径小于1μm和耐温性在20℃-120℃，同时具有耐氢氟酸腐蚀，负压：1000-3000Pa条件，比表面积大于180m2/g；脱除无水氟化氢气体中亚微米或纳米级以下的粉尘颗粒，使得无水氟化氢气体中在常温常压下粉尘颗粒含量小于5g/m3。 | ||
| 地址 | 100124 北京市朝阳区平乐园100号 | ||