| 发明名称 | 氯硅烷汽化混合工艺及装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种能够提高氯硅烷汽化过程中氢气与氯硅烷比例控制精度的氯硅烷汽化混合工艺及装置。所述氯硅烷汽化混合装置包括换热器，氯硅烷输送管、氢气输送管与该换热器的管程/壳程连通，氯硅烷输送管、氢气输送管上均各设置有流量计和流量调节阀，相应地，该换热器的壳程/管程与热供应系统连通。所述换热器内对应于氯硅烷输送管与换热器连接口位置处设置有与所述连接口保持了间隙的分流器。所述氯硅烷汽化混合工艺通过将氯硅烷和氢气先分别计量再于换热器内混合汽化，实现了对氯硅烷与氢气混合气的完全汽化和氯硅烷与氢气比例的精确控制，有利于避免原料浪费及提高和稳定多晶硅产品质量，并有利于实现自动化控制。 | ||
| 申请公布号 | CN101723374A | 申请公布日期 | 2010.06.09 |
| 申请号 | CN200910310611.5 | 申请日期 | 2009.11.30 |
| 申请人 | 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 | 发明人 | 唐前正;张新;赵新征;卢涛;彭卡;李品贤 |
| 分类号 | C01B33/03(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/03(2006.01)I |
| 代理机构 | 成都虹桥专利事务所 51124 | 代理人 | 杨冬 |
| 主权项 | 氯硅烷汽化混合装置，包括换热器(8)，其特征是：氯硅烷输送管(11)、氢气输送管(12)分别通过第一连接口(1)及第二连接口(2)与该换热器(8)的管程/壳程连通，氯硅烷输送管(11)、氢气输送管(12)上均各设置有流量计(9)和流量调节阀(10)，相应地，该换热器(8)的壳程/管程与热供应系统连通。 | ||
| 地址 | 614000 四川省乐山市高新技术开发区乐高大道6号 | ||