| 发明名称 | 精细图案形成用组合物以及使用它的精细图案形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种精细图案形成用组合物和一种精细图案形成方法。这种精细图案形成用组合物使得高深宽比的图案能够制造得比由用于曝光的光波长所确定的分辨限度更精细。该组合物含有水溶性树脂和含水溶剂，并且其25℃下的动力粘度v在10～35mm2/s的范围内，固含量C满足条件：动力粘度v与固含量C的比率v/C在0.5～1.5mm2/s/wt％的范围内。利用该组合物，可以进一步使深宽比为4～15或厚度为2μm或更厚的抗蚀图案微细化。 | ||
| 申请公布号 | CN101730866A | 申请公布日期 | 2010.06.09 |
| 申请号 | CN200880023839.X | 申请日期 | 2008.06.26 |
| 申请人 | AZ电子材料(日本)株式会社 | 发明人 | 明石一通;樱井祥晴;堀场智则 |
| 分类号 | G03F7/40(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/40(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人 | 刘激扬 |
| 主权项 | 一种精细图案形成用组合物，含有水溶性树脂和含水溶剂，其特征在于v在10～35mm2/s的范围内，比率v/C在0.5～1.5mm2/s/wt％的范围内，其中所述v是该组合物25℃下的动力粘度，所述C是该组合物的固含量。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||