有效控制单晶硅中碳含量的方法

摘要

本发明公开了一种有效控制单晶硅中碳含量的方法，该方法通过合理搭配使用不同碳含量的原料，拉制单晶硅之前就合理计算出每炉料中的平均碳含量，因此极大地提高了次级料的利用率，并且有效控制了单晶硅中的碳含量，同时节约了生产成本，提高了经济效益。

主权项

一种有效控制单晶硅中碳含量的方法，其特征在于包括以下步骤：1)测量并详细记载清楚所采用每种原材料的碳含量Ci，准确测量每种原材料的重量Mi；2)按照公式C＝(C1×M1+C2×M2+C3×M3……)×0.07/ρM配制原料，使所配原料碳含量≤10×1016atoms/cm3；其中：C为所配原料的碳含量，C1、C2、C3……为每种原材料的碳含量，M1、M2、M3……为对应不同碳含量C1、C2、C3……的原材料的质量，0.07为分凝系数，ρ为硅的密度，M为所配原料的总量；3)将所配原料放入单晶硅炉内，加热熔融提拉单晶硅；4)测量所拉制的单晶硅的顶端、中部及尾端的碳含量，将单晶硅上碳含量＞10×1016atoms/cm3的部位切除，作为下次拉制单晶硅的原材料使用。