干涉相位差显微镜

摘要

本发明公开了一种干涉相位差显微镜，适于检测于量测区内的待测物。干涉相位差显微镜包括光源、分光镜与影像传感器，其中分光镜是将光源所产生的光束反射至量测区，而光束从量测区被反射后会穿过分光镜而入射影像传感器。干涉相位差显微镜更于光束的光路上配置第一偏极片、第二偏极片、第一干涉相位差棱镜、波板以及第二干涉相位差棱镜，其中第一偏极片是位于光源与分光镜之间，而第二偏极片是位于分光镜与影像传感器之间，且第一干涉相位差棱镜、波板以及第二干涉相位差棱镜是依序位于分光镜与量测区之间。第一干涉相位差棱镜的主轴与第二干涉相位差棱镜的主轴夹90度角。

主权项

一种干涉相位差显微镜，其特征在于，包括：一光源，适于产生一光束；一分光镜，反射该光束至一量测区；一影像传感器，该光束从该量测区被反射后会穿过该分光镜而入射该影像传感器；一第一偏极片，配置于该光束的光路上，并位于该光源与该分光镜之间；一第二偏极片，配置于该光束的光路上，并位于该分光镜与该影像传感器之间；一第一干涉相位差棱镜，配置于该光束的光路上，并位于该分光镜与该量测区之间；一波板，配置于该光束的光路上，并位于该第一干涉相位差棱镜与该量测区之间；以及一第二干涉相位差棱镜，配置于该光束的光路上，并位于该波板与该量测区之间，且该第一干涉相位差棱镜的主轴与该第二干涉相位差棱镜的主轴夹90度角。