发明名称 衬底传输设备和用于制造磁记录介质的方法
摘要 本发明涉及一种衬底传输设备,其包括:通过闸阀相互连接的室;传输机构,其构造成打开闸阀并在室之间沿着传输路径传输载体;传感器,其构造成在载体到达室中的停止位置之前检测载体;以及控制器,其构造成基于来自传感器的检测信号而使闸阀开始关闭。
申请公布号 CN101727920A 申请公布日期 2010.06.09
申请号 CN200910208119.7 申请日期 2009.10.28
申请人 佳能安内华股份有限公司 发明人 萩原到;野泽直之
分类号 G11B5/84(2006.01)I 主分类号 G11B5/84(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 张涛
主权项 一种衬底传输设备,包括:通过闸阀相互连接的室;传输机构,其构造成打开所述闸阀并在所述室之间沿着传输路径传输载体;传感器,其构造成在所述载体到达所述室中的停止位置之前检测所述载体;以及控制器,其构造成基于来自所述传感器的检测信号而使所述闸阀开始关闭。
地址 日本神奈川