平衡减震台

摘要

本发明提供了一种平衡减震台，包括基础框架、辅助平衡块、主平衡块、平面平衡机构、工作台以及两连杆矫正机构；所述辅助平衡块一端面连接在基础框架上，另一端面与主平衡块连接；两连杆矫正机构通过固定基座固定在辅助平衡块上，另一端连杆与主平衡块连接；所述平面平衡机构设置在主平衡块上，并连接工作台。上层主平衡块用于平衡工件台运动产生的作用力X，Y和Rz。下层辅助平衡块只是作为一个辅助，在整个运动过程中只使用两个电机，结构简单，并且实现了完全的减震隔离。

主权项

一种平衡减震台，其特征在于包括：基础框架、辅助平衡块、主平衡块、平面平衡机构、工作台以及两连杆矫正机构；所述辅助平衡块一端面通过气浮轴承连接在基础框架上，另一端面与主平衡块通过气浮轴承连接；所述两连杆矫正机构包括两个连杆、两个力矩电机以及固定基座，两力矩电机之间通过所述两个连杆中的一个连杆连接，一个力矩电机上设置固定基座用以固定辅助平衡块，另一力矩电机通过所述两个连杆中的另一个连杆连接主平衡块；所述平面平衡机构设置在主平衡块上，并连接工作台。