一种单层光学薄膜光学常数和厚度的检测方法

摘要

一种单层光学薄膜光学常数和厚度的检测方法，涉及一种光学薄膜参数的检测方法。提供仅通过一次计算，即可快速检测的一种单层光学薄膜光学常数和厚度的检测方法。测量透射光谱：利用分光光度计，测量正入射情况下单层光学薄膜的不扣除基底的透射光谱；选取透射率数据：在测量透射光谱上选取透射率数据代入评价函数；反演求解：采用改进模拟退火算法对评价函数进行反演求解；分析结果：通过恢复透射光谱，对算法返回结果进行分析。算法全局性能更优，返回解数量级更小，且回火退火帮助返回多组解，全面了解评价函数情况；可与分光光度计测量软件相结合，直接读取透射率数据进行反演求解，拓宽分光光度计的应用范围，具有潜在商业价值。

主权项

一种单层光学薄膜光学常数和厚度的检测方法，其特征在于包括以下步骤：1)测量透射光谱：利用分光光度计，测量正入射情况下单层光学薄膜的不扣除基底的透射光谱；2)选取透射率数据：在测量透射光谱上选取透射率数据代入评价函数，所述评价函数由最小二乘法构建，表达式为： E = Σ i = 1 N { T ci [ n 2 ( λ i ) , k 2 ( λ i ) , d ; λ i ] - T mi ( λ i ) } 2 其中，λ表示在透射光谱上所选取的波长点，Tci表示经由透射率公式计算得到的相应波长点上的透射率，Tmi表示分光光度计测量得到的相应波长点上的透射率，N为选取的参与反演计算的透射率数据的数量，n2、k2和d分别为待求的单层光学薄膜的折射率、消光系数和厚度；3)反演求解：采用改进模拟退火算法对评价函数进行反演求解；4)分析结果：通过恢复透射光谱，对算法返回结果进行分析。