静电吸盘装置及其制造方法

摘要

本发明公开一种静电吸盘装置及其制造方法，其能够延长静电吸盘的使用寿命，并且通过防止绝缘材料被刻蚀而在整个衬底上实现均匀的温度梯度。所述静电吸盘装置包括：基座构件，以及装载在所述基座构件上的静电吸盘，用于通过静电力吸附衬底，其中所述静电吸盘包括：绝缘构件，其形成于所述基座构件上，并且设有多个由氮化铝构成的第一绝缘板；加热器，用于加热衬底，所述加热器位于所述多个第一绝缘板之间；直流电极，形成于所述多个第一绝缘板中的设在所述加热器之上的至少一个第一绝缘板上，所述直流电极与直流电源电连接；以及绝缘刻蚀停止层，其由氧化铝构成并形成于所述绝缘构件的整个表面，用于防止所述绝缘构件被刻蚀。

主权项

一种静电吸盘装置，包括：基座构件；以及静电吸盘，其装载在所述基座构件上，用于通过静电力吸附衬底，其中，所述静电吸盘包括：绝缘构件，形成于所述基座构件上，并且设有多个由氮化铝构成的第一绝缘板；加热器，用于加热所述衬底，所述加热器位于所述多个第一绝缘板之间；直流电极，形成于所述多个第一绝缘板中的设在所述加热器之上的至少一个第一绝缘板上，所述直流电极与直流电源电连接；以及绝缘刻蚀停止层，其由氧化铝构成并形成于所述绝缘构件的整个表面上，用于防止所述绝缘构件被刻蚀。