具有改良性能的表面声波设备及制造该设备的方法

摘要

一种表面声波设备包括形成于基底上的换能器电极。在一方面，电极具有多层。至少一层是金属和另一层是通过用Al2O3沉淀物加强而用于向该金属层提供硬化作用的材料。在另一方面，电极电连接到一金属部件，该部件允许表面声波设备电连接到该表面声波设备之外的电子设备。该电极具有第一金属化的金属部分。所述部件是第二不同金属化。在另一方面，表面声波设备经由一种方法而制作，以便具有所述的结构方面。

主权项

一种包括形成于基底上的换能器电极的表面声波设备，该电极包括多个层，粘附于基底上的第一层(44)，其是金属；第二层(46)，其位于所述第一层(44)之上，且是金属和氧的化合物，所述金属和氧的化合物包括铝或铝合金以及氧化铝；以及下一层(48)，其位于所述第二层(46)之上，且包括金属互化物。