单块的偏振受控角漫射器及有关方法

摘要

单块的偏振受控角漫射器包括：具有第一表面和第二表面的系统；用于在照明平面上提供角分布的受控角漫射器图案，该受控角漫射器图案在基板的第一和第二表面之一上；和在基板的第一和第二表面之一上的偏振图案。该受控角漫射器图案包括至少两个受控角漫射器元件。每个受控角漫射器元件都输出不同的角分布。偏振图案包括至少两个偏振元件。每个偏振元件都对应于各个受控角漫射器元件。所述至少两个偏振元件输出彼此旋转的偏振。

主权项

一种单块的偏振受控角漫射器，包括：具有至少两个平行的平坦表面的系统；用于在照明平面上提供角分布的受控角漫射器图案，该受控角漫射器图案在所述至少两个平行的平坦表面之一上，该受控角漫射器图案包括至少两个受控角漫射器元件，每个受控漫射器元件都输出不同的角分布；在所述至少两个平行的平坦表面之一上的偏振图案，该偏振图案包括至少两个偏振元件，每个偏振元件都对应于各受控角漫射器元件，所述至少两个偏振元件输出相对彼此旋转的偏振，和基板，所述基板上形成有该偏振图案，该偏振图案包括次波长结构和变化的蚀刻深度，其中由下述公式确定蚀刻深度d：d＝λ/2Δn其中λ是漫射器使用的波长，Δn是对于偏振图案的正交偏振状态的基板的折射率之间的差。