液晶显示器阵列基板及其制造方法

摘要

本发明涉及一种液晶显示器阵列基板及其制造方法。该阵列基板：在其信号线下方的栅电极绝缘层下有导电的屏蔽层底部，该屏蔽层底部与公共电极引线相连，信号线上方的钝化层上设有屏蔽层上部，该屏蔽层上部通过过孔与屏蔽层下部相连。该阵列基板制造方法分别采用磁控溅射、曝光、化学腐蚀和化学气相沉积方法制备各器件，制备顺序是：栅电极扫描线、栅电极、公共电极引线和屏蔽层底部；栅电极绝缘层和有源层；信号线、漏电极和源电极；钝化层；过孔；像素电极和屏蔽层上部。本发明的液晶显示器阵列基板能够有效消除像素电极和信号线间电容对像素电极电压的影响，提高了显示质量，其制备方法简单易实现，无需增加加工成本。

主权项

一种液晶显示器阵列基板，包括：基板；形成在所述基板上的栅电极扫描线、栅电极和公共电极引线；覆盖在所述栅电极扫描线、栅电极和公共电极引线上的栅电极绝缘层；形成在所述栅电极绝缘层上的有源层，以及有源层上的欧姆接触层；形成在欧姆接触层上的漏电极、源电极和信号线；覆盖在所述有源层、漏电极、源电极和信号线上的钝化层；形成在所述钝化层上的像素电极，其特征在于：在所述信号线下方的栅电极绝缘层下还设有导电的屏蔽层底部，所述屏蔽层底部与公共电极引线相连，且所述屏蔽层底部与栅电极扫描线采用相同材料同时形成；在所述信号线上方的所述钝化层上还设有导电的屏蔽层上部，且所述屏蔽层上部与像素电极采用相同材料同时形成；在所述信号线两侧的钝化层和栅电极绝缘层上设有过孔，所述屏蔽层上部通过所述过孔与所述屏蔽层底部相连。