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经营范围
发明名称
Scruber
摘要
申请公布号
KR200448987(Y1)
申请公布日期
2010.06.09
申请号
KR20090012832U
申请日期
2009.09.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/02;B01D47/06;B01D53/78
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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