发明名称 Scruber
摘要
申请公布号 KR200448987(Y1) 申请公布日期 2010.06.09
申请号 KR20090012832U 申请日期 2009.09.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;B01D47/06;B01D53/78 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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