| 发明名称 | 化学机械抛光清洗装置 | ||
| 摘要 | 一种化学机械抛光清洗装置，包括第一压缩干燥空气管、第二压缩干燥空气管和至少一组清洗刷，所述每组清洗刷包括第一刷子和第二刷子，每个刷子具有两端部，所述第一、第二压缩干燥空气管对应于每个刷子的每个端部设有一支路，所述端部与支路之间通过一气动执行部件相连，所述第一、第二压缩干燥空气管连接至每一刷子端部的支路上皆设置一针形阀，本发明在每个压缩干燥空气管上加装针型阀，使得压缩干燥空气可同时到达每个气动执行部件，另外还能有效的减小作用于气动执行部件上的压力。 | ||
| 申请公布号 | CN101722476A | 申请公布日期 | 2010.06.09 |
| 申请号 | CN200810201823.5 | 申请日期 | 2008.10.27 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 杨波;陈增祥 |
| 分类号 | B24B55/00(2006.01)I;B08B1/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B55/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种化学机械抛光清洗装置，包括第一压缩干燥空气管、第二压缩干燥空气管和至少一组清洗刷，所述每组清洗刷包括第一刷子和第二刷子，每个刷子具有两端部，所述第一、第二压缩干燥空气管对应于每个刷子的每个端部设有一支路，所述端部与支路之间通过一气动执行部件相连，其特征在于：所述第一、第二压缩干燥空气管连接至每一刷子端部的支路上皆设置一针形阀。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||