| 发明名称 | 一种物理气相沉积加热系统过流保护装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种物理气相沉积加热系统过流保护装置，包括过流检测电路，通过感应线圈检测加热系统加热电源线的电流，经处理后输出触发信号；过流保护控制电路，接收过流检测电路输出的触发信号，延时控制加热系统电流调节电位器的电源切断；工作电源电路，为上述各电路中的用电器件提供工作电源。本发明具有延时触发功能，避免了在加温过程中加热电流的反复波动，减少了由于负载易受膜材颗粒的影响而反复变化，引起过电流的反复冲击给加热体带来的损坏。 | ||
| 申请公布号 | CN101724824A | 申请公布日期 | 2010.06.09 |
| 申请号 | CN200810228478.4 | 申请日期 | 2008.10.31 |
| 申请人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明人 | 王学研;徐英凤 |
| 分类号 | C23C14/54(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/54(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人 | 许宗富 |
| 主权项 | 一种物理气相沉积加热系统过流保护装置，其特征在于包括：过流检测电路，通过感应线圈(L)检测加热系统加热电源线的电流，经处理后输出触发信号；过流保护控制电路，接收过流检测电路输出的触发信号，延时控制加热系统电流调节电位器(W)的电源切断；工作电源电路，为上述各电路中的用电器件提供工作电源。 | ||
| 地址 | 110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号 | ||