发明名称 |
蒸发方法及蒸发设备 |
摘要 |
本发明提供一种蒸发方法及蒸发设备。所述蒸发方法为:首先提供基板以及提供蒸发掩膜,其中蒸发掩膜上具有N个图案区域。另外,提供蒸发源,其中蒸发源具有多个蒸发区域,且蒸发源的每一个蒸发区域对应蒸发掩膜的至少一图案区域设置。接着,将蒸发掩膜设置于基板与蒸发源之间。之后,对基板进行第一次蒸发步骤。将基板转动90度之后,对基板进行第二次蒸发步骤。再次将基板转动90度之后,对基板进行第三次蒸发步骤。再次将基板转动90度之后,对基板进行第四次蒸发步骤。 |
申请公布号 |
CN101724810A |
申请公布日期 |
2010.06.09 |
申请号 |
CN200910225436.X |
申请日期 |
2009.12.10 |
申请人 |
友达光电股份有限公司 |
发明人 |
宋怡桦;徐士峰 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
任默闻 |
主权项 |
一种蒸发方法,其特征在于,所述蒸发方法包括:提供一基板;提供一蒸发掩膜,所述蒸发掩膜上具有N个图案区域;提供一蒸发源,其中所述蒸发源具有多个蒸发区域,每一个蒸发区域对应所述蒸发掩膜的至少一图案区域设置;将所述蒸发掩膜设置于所述基板与所述蒸发源之间;对所述基板进行一第一次蒸发步骤;将所述基板转动90度之后,对所述基板进行一第二次蒸发步骤;再次将所述基板转动90度之后,对所述基板进行一第三次蒸发步骤;以及再次将所述基板转动90度之后,对所述基板进行一第四次蒸发步骤。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |