用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器

摘要

本发明公开一种用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器，其最大限度降低中间掩模被放在轮上时受到的振动和冲击，感应是否安装了中间掩模。该夹持器设置在移动部，移动部安装在曝光装置上并沿X、Y、Z轴方向和旋转方向运动，该夹持器形成有用于支撑中间掩模侧面边缘的一对侧面支撑件，以便往返于盒和轮之间时输送中间掩模，该夹持器还包括用于支撑中间掩模上面的一对上面支撑件，当中间掩模设置在夹持器上时，在与中间掩模相对的一侧面上设置有感应是否安装了中间掩模的非接触式传感器。从而防止在将中间掩模放在轮的过程中中间掩模的位置由于振动和冲击微细移动，从而中间掩模被放在轮上时被更加正确配置，并提高加工精度，降低不良率。

主权项

一种用于输送曝光装置的中间掩模的机器人夹持器，其设置在移动部(41)，所述移动部安装在曝光装置上并沿X、Y、Z轴方向和旋转方向运动，所述机器人夹持器上突出形成有用于支撑中间掩模(1)侧面边缘的一对侧面支撑件(421)，以便往返于盒(30)和轮(50)之间时运送中间掩模(1)，所述机器人夹持器还包括用于支撑中间掩模的上面的一对上面支撑件(422)，其特征在于：当中间掩模(1)设置在所述夹持器(42)上时，在与中间掩模(1)相对的一侧面上设置有用于检测是否安装了中间掩模(1)的非接触式传感器(44)。