垂直化学汽相淀积装置

摘要

本实用新型涉及一种化学汽相淀积设备，具体涉及一种垂直化学汽相淀积装置，该装置包括一反应腔和与所述反应腔连通的真空泵浦，所述反应腔内设有承载基座和至少一个气体喷嘴，所述承载基座一侧用于固定连接衬底，另一侧设置有加热元件，其特征在于：所述衬底垂直固定于所述承载基座上，所述的气体喷嘴导出的气体为水平喷射，本实用新型的优点是：生产良品率高、生产效率高；系统结构变成简单化；避免生产过程中的相互污染；生产过程中不须使用氟化气体，避免污染环境以及生产设备及其它附属设备的腐坏，延长了设备使用寿命。

主权项

一种垂直化学汽相淀积装置，包括一反应腔和与所述反应腔连通的真空泵浦，所述反应腔内设有承载基座和至少一个气体喷嘴，所述承载基座一侧用于固定连接衬底，另一侧设置有加热元件，其特征在于：所述衬底垂直固定于所述承载基座上，所述的气体喷嘴导出的气体为水平喷射。