一种照明均匀性校正装置

摘要

一种照明均匀性校正装置，其设置在掩膜版附近或掩模版的光学共轭面附近，包含若干设置在照明光束横截面的校正组件对，沿非扫描方向间隔排列设置，沿扫描方向重叠设置；还包含设置在每个校正组件对的出射光线方向的光线偏移校正组件；该校正组件对包含沿扫描方向和扫描反方向分别插入矩形照明场的第一、第二校正组件；该第一、第二校正组件在扫描方向与光束传输方向截面上呈三角状，可分别沿三角形斜边方向做至少一维运动，沿光束传输方向做相对移动；该第一、第二校正组件上设置有随厚度变化的相反透过率分布。本发明可避免相邻校正组件之间的间隙所导致的漏光和阴影；同时，其可控制扫描方向积分能量的分布，并可控制全照明场的均匀性。

主权项

一种照明均匀性校正装置，设置在掩膜版附近或掩模版的光学共轭面附近，其包含若干设置在照明光束横截面的校正组件对，该若干校正组件对沿非扫描方向间隔排列设置并覆盖整个照明场，沿扫描方向重叠设置并覆盖整个照明场；其特征在于，还包含设置在每个校正组件对的出射光线方向的光线偏移校正组件；所述的校正组件对包含沿扫描方向插入矩形照明场的第一校正组件，和沿扫描反方向插入矩形照明场的第二校正组件；所述的第一校正组件和第二校正组件在扫描方向与光束传输方向截面上呈三角状，第一校正组件和第二校正组件的斜边相对且平行，并以保留一间隔的方式放置，所述第一校正组件和第二校正组件在光束传输方向至少部分相互重合；所述的第一校正组件和第二校正组件分别沿三角形斜边方向做至少一维运动，且沿光束传输方向做相对移动；所述的第一校正组件和第二校正组件上设置有随位置变化而变化的透过率分布，且该第一校正组件的透过率分布与第二校正组件的透过率分布相反设置，即两者在移动方向上具有相反变化趋势的透过率分布。