发明名称 | 气体控制器、气体控制器的保护装置及保护方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种气体控制器,包括控制头、控制杆和控制体,此外,其还包括壳体,所述壳体在靠近控制杆的一端具有第一开口,部分所述控制体通过该第一开口放置于所述壳体内;所述壳体具有第二开口,所述控制体内的气路通过该第二开口与外部相连;所述壳体还具有用于向所述壳体内充入辅助气体的进气口和用于从所述壳体内排出辅助气体的排气口。本发明的气体控制器可以有效避免液化气体经过气体控制器时易出现的气体液化的现象,具有不易损坏,使用寿命较长的优点。此外,本发明还公开了相应的气体控制器的保护装置及气体控制器的保护方法,其可以加强对气体控制器的保护,令气体控制器的使用寿命有所延长。 | ||
申请公布号 | CN101315869B | 申请公布日期 | 2010.06.09 |
申请号 | CN200710041358.9 | 申请日期 | 2007.05.28 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 吴卫卫;于永航 |
分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李文红 |
主权项 | 一种气体控制器,包括控制头、控制杆、控制体,以及位于所述控制体内的气路,通过控制头带动控制杆,实现对流过控制体内的气体的流量大小或导通/截止状态的调整,其特征在于:还包括壳体,所述壳体在靠近控制杆的一端具有第一开口,部分所述控制体通过该第一开口放置于所述壳体内,所述壳体在所述气体控制器的部分控制体的周围形成密闭的空间;所述壳体具有第二开口,所述控制体内的气路通过该第二开口与外部相连;所述壳体还具有用于向所述壳体内充入具有室温或较高温度的辅助气体的进气口和用于从所述壳体内排出辅助气体的排气口。 | ||
地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 |