发明名称 SILICON CARBIDE SINGLE-CRYSTAL WAFER AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1895573(A4) 申请公布日期 2010.06.09
申请号 EP20060745461 申请日期 2006.04.19
申请人 BRIDGESTONE CORPORATION 发明人 MARUYAMA, TAKAYUKI
分类号 H01L21/205;C23C16/42;C30B29/20;C30B29/36 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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