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发明名称 Test pattern of process change monitor for testing metal lines
摘要
申请公布号 KR100960890(B1) 申请公布日期 2010.06.04
申请号 KR20070138213 申请日期 2007.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L23/544;H01L21/28 主分类号 H01L23/544
代理机构 代理人
主权项
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