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Un procedimiento de fabricación de un artículo recubierto, comprendiendo el procedimiento: proporcionar un sustrato; y formar una capa de antigrabado en el sustrato usando por lo menos un blanco de pulverización iónica y por lo menos una fuente de iones de manera que los iones de la fuente de iones impacten en una superficie formadora de capa junto con material pulverizado iónicamente desde el blanco de pulverización iónica, en el que la capa de antigrabado comprende uno o más de: carburo-nitruro de silicio, carburo-nitruro de silicio hidrogenado, óxido de indio, óxido de indio-molibdeno, óxido de cerio, óxido de indio-estaño, y/u óxido de magnesio.
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