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发明名称
摘要
申请公布号 JP2010519753(A) 申请公布日期 2010.06.03
申请号 JP20090550289 申请日期 2008.02.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/46 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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