加熱装置

摘要

【課題】長期間安定した構造および高伝導性を維持する加熱装置を提供する。【解決手段】加熱装置は、基板１２上に配置されるよう適合された加熱エレメント１０を有する。加熱エレメント１０は、電極１８と、基板１２と電極１８との間に配置されるナノサイズの厚さの多層導電コーティング１６と、を備える。多層導電コーティング１６は、高温での加熱エレメント１０の性能を安定させる構造および構成物を備えている。多層導電コーティング１６をスプレー熱分解によって形成できる。【選択図】図１