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发明名称 SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS
摘要
申请公布号 JP2010123970(A) 申请公布日期 2010.06.03
申请号 JP20090264038 申请日期 2009.11.19
申请人 SFA ENGINEERING CORP 发明人 LEE GYEONG NAM;JANG JAE SIG;PARK SUN PIL
分类号 H01L21/677;B65G49/06 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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