APPARATUS FOR MAKING THIN FILM AND METHOD FOR MAKING THIN FILM,申请号KR20070136921-传众专利搜索

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发明名称	APPARATUS FOR MAKING THIN FILM AND METHOD FOR MAKING THIN FILM
摘要
申请公布号	KR100960958(B1)	申请公布日期	2010.06.03
申请号	KR20070136921	申请日期	2007.12.24
申请人		发明人
分类号	C23C16/455;C23C16/00	主分类号	C23C16/455
代理机构		代理人
主权项
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