射频加热装置的电源

摘要

一种射频发生器电源，包括：通过直流母线串联连接的第一开关式电源(SMPS)和第二SMPS。在第一SMPS的输出端和第二SMPS的输入端之间布置电容器，该电容器用作第一SMPS的平滑电容器并向第二SMPS提供脉冲能量。第二SMPS的输出端连接到升压变压器的输入端，而升压变压器的输出端连接到整流器的输入端，其中，整流器可连接到射频发生器。第一SMPS的输入端可连接到主电源，以在为射频发生器设置工作电压和峰值电流水平的同时保持高的功率因数以及低谐波含量。第二SMPS被布置成，向升压变压器供电，并被布置成以可变占空比和/或可变频率工作，从而为射频发生器提供平均功率控制。在检测到通过射频发生器的功率急变时，第二SMPS被快速切断。

主权项

一种射频发生器的电源，该电源包括：第一开关式电源(SMPS)装置，以及通过直流母线装置与所述第一SMPS装置串联的第二SMPS装置，在所述第一SMPS装置的输出端之间以及所述第二SMPS装置的输入端之间连接有电容器装置，所述第二SMPS装置的输出端连接到升压变压器装置的输入端，所述升压变压器装置的输出端连接到整流器装置的输入端，所述整流器装置的输出端能够连接到所述射频发生器装置，其中，所述第一SMPS装置的输入端能够连接到主电源输入端，以设置所述射频发生器的工作电压和峰值电流水平，并且，所述第二SMPS装置被布置成向所述升压变压器装置供电，并以可变的占空比和/或可变的频率工作，以向所述射频发生器提供平均功率控制。