发明名称 |
具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅厚膜的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅厚膜的制备方法,步骤如下:a、首先以乙酸铅、四正丁酯锆和钛酸四丁酯为起始原料,乙二醇乙醚为溶剂,乙酰丙酮和甲酰胺为稳定剂,制备化学组成Pb(Zr0.52Ti0.48)TiO3、浓度为0.7~0.8mol/L的锆钛酸铅前驱体溶液;b、将锆钛酸铅前驱体溶液采用旋涂工艺直接沉积在单晶硅基片上,并在热处理炉中依次350℃快速干燥3~5分钟、650℃退火处理3~5分钟,得到单层四方钙钛矿结构的(100)取向锆钛酸铅薄膜;c、重复步骤b操作制备10~30层的(100)取向锆钛酸铅薄膜,得到厚度为1.3~3.9微米的的锆钛酸铅厚膜。 |
申请公布号 |
CN101717272A |
申请公布日期 |
2010.06.02 |
申请号 |
CN200910218944.5 |
申请日期 |
2009.11.13 |
申请人 |
西安交通大学 |
发明人 |
任巍;朱宛琳;辛红;史鹏;吴小清;陈晓峰;姚熹 |
分类号 |
C04B41/50(2006.01)I;C04B41/52(2006.01)I |
主分类号 |
C04B41/50(2006.01)I |
代理机构 |
西安通大专利代理有限责任公司 61200 |
代理人 |
惠文轩 |
主权项 |
一种具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅厚膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:a、首先以乙酸铅、四正丁酯锆和钛酸四丁酯为起始原料,乙二醇乙醚为溶剂,乙酰丙酮和甲酰胺为稳定剂,制备化学组成Pb(Zr0.52Ti0.48)TiO3、浓度为0.7~0.8mol/L的锆钛酸铅前驱体溶液;b、将锆钛酸铅前驱体溶液采用旋涂工艺直接沉积在单晶硅基片上,并在热处理炉中依次350℃快速干燥3~5分钟、650℃退火处理3~5分钟,得到单层四方钙钛矿结构的(100)取向锆钛酸铅薄膜;c、重复步骤b操作制备10~30层的(100)取向锆钛酸铅薄膜,得到厚度为1.3~3.9微米的具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅厚膜。 |
地址 |
710049 陕西省西安市碑林区咸宁路28号 |