发明名称
摘要
申请公布号 JP4474157(B2) 申请公布日期 2010.06.02
申请号 JP20030418889 申请日期 2003.12.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址