发明名称
摘要
申请公布号 JP4471480(B2) 申请公布日期 2010.06.02
申请号 JP20000317991 申请日期 2000.10.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L29/786;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/06;H01L29/40 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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