发明名称 |
促动器及其制造方法以及打印头 |
摘要 |
一种促动器,和其制造方法以及打印头,所述促动器在陶瓷基板(2)的表面上设有由压电陶瓷层(4)和夹持该压电陶瓷层(4)的一对电极(5、6)构成的位移元件(7),且其总厚度为100μm以下,所述压电陶瓷层(4)和所述基板(2)以至少含Pb、Zr以及Ti的钙钛矿型结晶作为主成分,且所述压电陶瓷层(4)的表面和所述基板(2)内部的组成比Pb/(Ti+Zr)的最大差是0.02以下。根据本发明,可使特性偏差小。 |
申请公布号 |
CN101070005B |
申请公布日期 |
2010.06.02 |
申请号 |
CN200710102534.5 |
申请日期 |
2003.10.17 |
申请人 |
京瓷株式会社 |
发明人 |
由宇喜裕;高桥大辅;东别府诚;植木千岁;会田比吕史 |
分类号 |
B41J2/045(2006.01)I;B41J2/14(2006.01)I;B41J2/16(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I;H01L41/24(2006.01)I |
主分类号 |
B41J2/045(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
朱丹 |
主权项 |
一种促动器,由陶瓷基板、和设置在该基板表面上的多个位移元件构成,该位移元件由压电陶瓷层和夹持该压电陶瓷层的一对电极构成,所述压电陶瓷层由至少含Pb、Zr以及Ti的钙钛矿型化合物构成,且该钙钛矿型化合物的晶格常数比c/a是1.013~1.016,所述促动器的总厚度为100μm以下,并且所述压电陶瓷层的表面和所述陶瓷基板内部的组成比Pb/(Ti+Zr)的最大差是0.02以下。 |
地址 |
日本京都府 |