发明名称 LINER FOR TUNGSTEN/SILICON DIOXIDE INTERFACE IN MEMORY
摘要
申请公布号 EP2191508(A1) 申请公布日期 2010.06.02
申请号 EP20080836145 申请日期 2008.09.26
申请人 SANDISK 3D LLC 发明人 TANAKA, YOICHIRO;RADIGAN, STEVEN, J.;RAGHURAM, USHA
分类号 H01L21/8229;H01L27/102 主分类号 H01L21/8229
代理机构 代理人
主权项
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